Journal of Vacuum Science & Technology B

Abkürzung der Fachzeitschrift: J VAC SCI TECHNOL B
ISSN: 1071-1023
Verlag: American Institute of Physics (AIP)


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Heftnummer: 1, Band: 33
Modeling of ion drift in 4H-SiC-based chemical MOSFET sensors (2015)
Erlbacher T, Schwarzmann H, Bauer AJ, et al.

Heftnummer: 4, Band: 32
Fabrication and characterization of glassy carbon membranes (2014)
Koval Y, Geworski A, Gieb K, et al.

Heftnummer: 6, Band: 31, Seitenbereich: 6FB02
Accuracy of wafer level alignment with substrate conformal imprint lithography (2013)
Fader R, Rommel M, Bauer A, et al.

Heftnummer: 3, Band: 25, Seitenbereich: 785-790
UV nanoimprint materials: Surface energies, residual layers, and imprint quality (2007)
Schmitt H, Frey L, Ryssel H

Heftnummer: 3, Band: 22, Seitenbereich: 1402-1406
Integration of field emitters into scanning probe microscopy sensors using focused ion and electron beams (2004)
Lehrer C, Frey L, Petersen S, et al.

Heftnummer: 6, Band: 19, Seitenbereich: 2533-2538
Limitations of focused ion beam nanomachining (2001)
Lehrer C, Frey L, Petersen S, et al.

Heftnummer: 2, Band: 18, Seitenbereich: 976-979
Field emitter array fabricated using focused ion and electron beam induced reaction (2000)
Yavas O, Ochiai C, Takai M, et al.

Zuletzt aktualisiert 2015-29-05 um 16:46