Nanomess- und positioniermaschine SIOS NMM-1 (SIOS)

Model: Nanomessmaschine NMM-1

Manufacturer: SIOS (2001)

Location: Erlangen

Usage: Internal only

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Evaluation und Korrektur thermischer Driften eines hochfrequent fokusabstandsmodulierten, fasergekoppelten konfokalen Punktsensors (2019) Gröschl AC, Schaude J, Hausotte T Journal article, Online publication Atomic force microscope with an adjustable probe direction and piezoresistive cantilevers operated in tapping-mode (2019) Schaude J, Albrecht J, Klöpzig U, Gröschl AC, Hausotte T Journal article, Online publication Bestimmung des Brechungsindex des Schmiermittels Beruforge 152DL unter Verwendung eines dafür entwickelten Dünnschichtnormals (2019) Metzner S, Reuter T, Wirthmann E, Hausotte T Conference contribution, Conference Contribution Evaluation und Justierung eines neuartigen, hochfrequent fokusabstandsmodulierten, fasergekoppelten, konfokalen Punktsensors für axial geregelte Oberflächenmessungen mit einem Nanokoordinatenmessgerät (2019) Gröschl AC, Schaude J, Hausotte T Journal article Evaluation of the optical performance of a novel high-speed focal-distance-modulated fibre-coupled confocal sensor (2019) Gröschl AC, Schaude J, Hausotte T Conference contribution Kontinuierliche laterale Abtastung von Oberflächen durch axiale Regelung des Arbeitsabstandes in einem Nanokoordinatenmessgerät mit einem hochfrequent fokusabstandsmodulierten, fasergekoppelten, konfokalen Punktsensor (2018) Gröschl AC, Schaude J, Hausotte T Journal article High-speed focal-distance-modulated fiber-coupled confocal sensor for coordinate measuring systems (2018) Hausotte T, Gröschl AC, Schaude J Journal article, Review article
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