Nanomess- und positioniermaschine SIOS NMM-1 (SIOS)
Model: Nanomessmaschine NMM-1
Manufacturer: SIOS (2001)
Location: Erlangen
Usage: Internal only
Pictures
DFG Key: 8700 Mechanisch abtastende Längen- und Dickenmeßgeräte, Meßmaschinen
Description
Das Oberflächen- und Koordinatenmesssystem NMM-1 hat einen Messbereich
von 25 mm x 25 mm x 5 mm und eine Auflösung von kleiner 0,1 nm. Dieses
Gerät dient zur Präzisionsmessung von Mikro- und Nanostrukturen,
insbesondere in der Mikro- und Optoelektronik. Das Messobjekt wird auf
eine Spiegelrecke mit verspiegelten Außenflächen, die als Messspiegel
dreier Laserinterferometer dienen, gebracht. Dieser Aufbau realisiert
das Abbe’sche Komparatorprinzip in allen drei Messachsen und ermöglich
somit hochgenaue Messungen. Durch Nutzung des Antastsensors als
Nullindikator wird der Messbereich des Sensors auf den
Positionierbereich des Geräts ausgeweitet.Das System kann mit
verschiedenen Antastsytemen ausgestattet und genutzt werden. Es stehen
ein Fix-Fokussensor, ein Weißlichtinterferometer sowie taktile und
elektrische 3-D-Mikrotaster als Antastsensoren zur Verfügung. Es wird
zusätzlich an weiteren Sensoren (Konfokalsensor, AFM-Sensoren)
gearbeitet, welche die Nutzungs- und Messmöglichkeiten erweitern sollen.
Messbereich: 25 mm x 25 mm x 5 mm
Auflösung: < 0,1 nm
Involved Person(s)
Organisation(s)
Research Areas
Das Oberflächen- und Koordinatenmesssystem NMM-1 hat einen Messbereich von 25 mm x 25 mm x 5 mm und eine Auflösung von kleiner 0,1 nm. Dieses Gerät dient zur Präzisionsmessung von Mikro- und Nanostrukturen, insbesondere in der Mikro- und Optoelektronik. Das Messobjekt wird auf eine Spiegelrecke mit verspiegelten Außenflächen, die als Messspiegel dreier Laserinterferometer dienen, gebracht. Dieser Aufbau realisiert das Abbe’sche Komparatorprinzip in allen drei Messachsen und ermöglich somit hochgenaue Messungen. Durch Nutzung des Antastsensors als Nullindikator wird der Messbereich des Sensors auf den Positionierbereich des Geräts ausgeweitet.Das System kann mit verschiedenen Antastsytemen ausgestattet und genutzt werden. Es stehen ein Fix-Fokussensor, ein Weißlichtinterferometer sowie taktile und elektrische 3-D-Mikrotaster als Antastsensoren zur Verfügung. Es wird zusätzlich an weiteren Sensoren (Konfokalsensor, AFM-Sensoren) gearbeitet, welche die Nutzungs- und Messmöglichkeiten erweitern sollen.
Messbereich: 25 mm x 25 mm x 5 mm
Auflösung: < 0,1 nm
