Mikrostanzen - Einsatz von einkristallinem Silizium als Werkzeugwerkstoff für Schneidprozesse von dünnen Folien

Becsi L, Hildering S, Mescheder U, Engel U (2011)


Publication Type: Conference contribution

Publication year: 2011

Publisher: VDE GmbH

Pages Range: 531-534

Conference Proceedings Title: Tagungsband 4. Mikrosystemtechnik-Kongress Darmstadt

Event location: Berlin

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APA:

Becsi, L., Hildering, S., Mescheder, U., & Engel, U. (2011). Mikrostanzen - Einsatz von einkristallinem Silizium als Werkzeugwerkstoff für Schneidprozesse von dünnen Folien. In BMBF ; VDE ; GMM ; VDI/VDE-IT (Eds.), Tagungsband 4. Mikrosystemtechnik-Kongress Darmstadt (pp. 531-534). Berlin: VDE GmbH.

MLA:

Becsi, L., et al. "Mikrostanzen - Einsatz von einkristallinem Silizium als Werkzeugwerkstoff für Schneidprozesse von dünnen Folien." Proceedings of the 4. Mikrosystemtechnik-Kongress Darmstadt, Berlin Ed. BMBF ; VDE ; GMM ; VDI/VDE-IT, VDE GmbH, 2011. 531-534.

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