Mikrostanzen - Einsatz von einkristallinem Silizium als Werkzeugwerkstoff für Schneidprozesse von dünnen Folien - Becsi, L.; Hildering, Sven; Mescheder, U.; Engel, Ulf (Tagungsband 4. Mikrosystemtechnik-Kongress Darmstadt, 2011)
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