Monte Carlo simulation of the MoS2 sputtering process and the influence of the normalized momentum on residual stresses

Beitrag in einer Fachzeitschrift
(Originalarbeit)


Details zur Publikation

Autorinnen und Autoren: Vierneusel B, Tremmel S, Wartzack S
Zeitschrift: Journal of Vacuum Science & Technology A
Verlag: American Vacuum Society
Jahr der Veröffentlichung: 2015
Band: 33
Heftnummer: 6
Seitenbereich: 1-6
ISSN: 0734-2101
Sprache: Englisch


FAU-Autorinnen und Autoren / FAU-Herausgeberinnen und Herausgeber

Tremmel, Stephan Dr.-Ing.
Lehrstuhl für Konstruktionstechnik
Vierneusel, Bernd
Lehrstuhl für Konstruktionstechnik
Wartzack, Sandro Prof. Dr.-Ing.
Lehrstuhl für Konstruktionstechnik


Zitierweisen

APA:
Vierneusel, B., Tremmel, S., & Wartzack, S. (2015). Monte Carlo simulation of the MoS2 sputtering process and the influence of the normalized momentum on residual stresses. Journal of Vacuum Science & Technology A, 33(6), 1-6. https://dx.doi.org/10.1116/1.4926383

MLA:
Vierneusel, Bernd, Stephan Tremmel, and Sandro Wartzack. "Monte Carlo simulation of the MoS2 sputtering process and the influence of the normalized momentum on residual stresses." Journal of Vacuum Science & Technology A 33.6 (2015): 1-6.

BibTeX: 

Zuletzt aktualisiert 2018-17-10 um 19:00