Stress reduction in high voltage MIS capacitor fabrication

Beitrag bei einer Tagung
(Konferenzbeitrag)


Details zur Publikation

Autor(en): Banzhaf S, Kenntner J, Grieb M, Schwaiger S, Erlbacher T, Bauer AJ, Frey L
Verlag: Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.
Jahr der Veröffentlichung: 2017
Seitenbereich: 1-6
ISBN: 9781538635018


FAU-Autoren / FAU-Herausgeber

Frey, Lothar Prof. Dr.
Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente


Autor(en) der externen Einrichtung(en)
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie (IISB)
Robert Bosch GmbH


Zitierweisen

APA:
Banzhaf, S., Kenntner, J., Grieb, M., Schwaiger, S., Erlbacher, T., Bauer, A.J., & Frey, L. (2017). Stress reduction in high voltage MIS capacitor fabrication. (pp. 1-6). Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc..

MLA:
Banzhaf, S., et al. "Stress reduction in high voltage MIS capacitor fabrication." Proceedings of the 19th International Symposium on Power Electronics, Ee 2017 Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc., 2017. 1-6.

BibTeX: 

Zuletzt aktualisiert 2018-01-10 um 21:53