Aktuelle Trends in der Laserstrahlmikrobearbeitung, Teil I: Mikrotechnik, Halbleitertechnik, Aufbau- und Verbindungstechnik

Eßer G, Schmidt M (2003)

Publication Type: Journal article

Publication year: 2003

Journal

Laser b-Quadrat Verlags GmbH & Co. KG

Pages Range: 58-64

Journal Issue: 3

Authors with CRIS profile

Michael Schmidt Lehrstuhl für Photonische Technologien

Additional Organisation(s)

Institute of Manufacturing Technology

How to cite

APA:

Eßer, G., & Schmidt, M. (2003). Aktuelle Trends in der Laserstrahlmikrobearbeitung, Teil I: Mikrotechnik, Halbleitertechnik, Aufbau- und Verbindungstechnik. Laser, 3, 58-64.

MLA:

Eßer, Gerd, and Michael Schmidt. "Aktuelle Trends in der Laserstrahlmikrobearbeitung, Teil I: Mikrotechnik, Halbleitertechnik, Aufbau- und Verbindungstechnik." Laser 3 (2003): 58-64.

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