Ein paralleles Verfahren zum Volumentest von kapazitiven MEMS Sensoren

Oesterle F, Weigel R, Kölpin A (2014)

Publication Type: Conference contribution

Publication year: 2014

Event location: Banz DE

Authors with CRIS profile

Florian Oesterle Lehrstuhl für Technische Elektronik Robert Weigel Lehrstuhl für Technische Elektronik Alexander Kölpin Lehrstuhl für Technische Elektronik

How to cite

APA:

Oesterle, F., Weigel, R., & Kölpin, A. (2014). Ein paralleles Verfahren zum Volumentest von kapazitiven MEMS Sensoren. In Proceedings of the 26. ITG/GI/GMM-Workshop: Testmethoden und Zuverlässigkeit von Schaltungen und Systemen (TuZ). Banz, DE.

MLA:

Oesterle, Florian, Robert Weigel, and Alexander Kölpin. "Ein paralleles Verfahren zum Volumentest von kapazitiven MEMS Sensoren." Proceedings of the 26. ITG/GI/GMM-Workshop: Testmethoden und Zuverlässigkeit von Schaltungen und Systemen (TuZ), Banz 2014.

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