Strauß J, Alexeev I, Cvecek K, Schmidt M (2014)
Publication Language: German
Publication Type: Conference contribution, Original article
Publication year: 2014
Publisher: Meisenbach GmbH
City/Town: Bamberg
Pages Range: 223-230
Conference Proceedings Title: Laser in der Elektronikproduktion & Feinwerktechnik
ISBN: 978-3-87525-359-7
Bei der Mikromaterialbearbeitung mit Ultrakurzpulslasern hat die absolute Bestimmung der Fokuslage zu der Werkstückoberfläche einen großen Einfluss auf das Bearbeitungsergebnis. In dieser Veröffentlichung wird demonstriert wie die von der Werkstückoberfläche reflektierte Laserstrahlung des Bearbeitungslasers mit einem konfokalem Messsystem ausgewertet wird, um so eine relative Positionsbestimmung mit 1/10 der Rayleighlänge durchzuführen. Des Weiteren wird gezeigt wie dieses Messsystem durch die höhere Harmonische, welche an der Oberfläche von Werkstoffen wie Glas erzeugt wird, kalibriert wird und somit eine absolute Positionsbestimmung des Bearbeitungsfokus zur Werkstückoberfläche erreicht wird.
APA:
Strauß, J., Alexeev, I., Cvecek, K., & Schmidt, M. (2014). Konfokale Bestimmung der Fokuslage und Kalibriermethodiken entsprechender Systeme. In Michael Schmidt, Stephan Roth (Hrg.), Laser in der Elektronikproduktion & Feinwerktechnik (S. 223-230). Fürth, DE: Bamberg: Meisenbach GmbH.
MLA:
Strauß, Johannes, et al. "Konfokale Bestimmung der Fokuslage und Kalibriermethodiken entsprechender Systeme." Tagungsband Laser in der Elektronikproduktion & Feinwerktechnik, Fürth Hrg. Michael Schmidt, Stephan Roth, Bamberg: Meisenbach GmbH, 2014. 223-230.
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