Hochgenaue Positionsmessung mit Hilfe von Mikrowellen-Interferometrie und unter Verwendung einer modifizierten Fin-Line-Struktur als Wegaufnehmer

Patents

Elektrisches Messsystem DE102013202765 Electrical measuring system US 2014-0232417 A1 Electrical measuring system CN103994738A

Inventor / co-inventor

Gabor Vinci Lehrstuhl für Technische Elektronik (LTE) Stefan Lindner Lehrstuhl für Technische Elektronik (LTE) Francesco Barbon Lehrstuhl für Technische Elektronik (LTE) Sebastian Mann Lehrstuhl für Technische Elektronik (LTE) Alexander Kölpin Lehrstuhl für Technische Elektronik (LTE)