OEM-3D-Messsysstem für NPMM Weißlichtinterferon (GBS mbH)
Model: Weißlichtinterferometer GBS smartWLI-oem
Manufacturer: GBS mbH (2011)
Usage: Internal only
Pictures
DFG Key: 5030 Werkstatt- und Meßmikroskope
Feature(s)
laterale Auflösung: ca. 1 μm
Messbereich (ohne Stitching): 370 μm x 370 μm
Messbereich (mit Stichting): 25 mm x 25 mm (Messbereich der NMM-1)
Description
OEM-3D-Messsystem auf Basis der Weißlichtinterferometrie für die Nanopositionier- und Nanomessmaschine NMM-1 von SIOS Meßtechnik GmbH.
Involved Person(s)
Organisation(s)
Funding Sources
laterale Auflösung: ca. 1 μm
Messbereich (ohne Stitching): 370 μm x 370 μm
Messbereich (mit Stichting): 25 mm x 25 mm (Messbereich der NMM-1)
OEM-3D-Messsystem auf Basis der Weißlichtinterferometrie für die Nanopositionier- und Nanomessmaschine NMM-1 von SIOS Meßtechnik GmbH.