Hexapod HXP200S (Newport Spectra-Physics GmbH)
Model: Hexapod HXP200S-MECA inkl. Controller
Manufacturer: Newport Spectra-Physics GmbH (2018)
Usage: FAU internal
Pictures
DFG Key: 5900 Optische Bänke einschl. mechanischer Bauelemente
Feature(s)
Description
Der Hexapod Hexapod HXP200S der Firma Newport GmbH ist derzeit Teil eines Multisensoren-Messaufbaus zur Positionierung des Werkstückes innerhalb des Messbereichs der Einzelsensoren.
Max. Positionierweg (x,y,z): ± 35 mm, ± 40 mm, ± 25 mm
Wiederholgenauigkeit: 0,1 µm
Absolutpräzision im maximalen Verwahrweg (x,y,z): 6.4 µm, 7,7 µm, 4,0 µm
Involved Person(s)
Organisation(s)
Der Hexapod Hexapod HXP200S der Firma Newport GmbH ist derzeit Teil eines Multisensoren-Messaufbaus zur Positionierung des Werkstückes innerhalb des Messbereichs der Einzelsensoren.
Max. Positionierweg (x,y,z): ± 35 mm, ± 40 mm, ± 25 mm
Wiederholgenauigkeit: 0,1 µm
Absolutpräzision im maximalen Verwahrweg (x,y,z): 6.4 µm, 7,7 µm, 4,0 µm