Möglichkeiten der Differenzreflektometrie bei der Entwicklung einer optischen on-line Qualitätskontrolle für die Materialbearbeitung mit dem Excimerlaser

Schubert E, Rosiwal S, Bergmann HW (1989)

Publication Language: German

Publication Type: Journal article

Publication year: 1989

Journal

Opto-Elektronik-Magazin Sprechsaal-Verlag

Book Volume: 5

Pages Range: 334-343

Journal Issue: 3

Authors with CRIS profile

Stefan Rosiwal Lehrstuhl für Werkstoffwissenschaften (Werkstoffkunde und Technologie der Metalle)

How to cite

APA:

Schubert, E., Rosiwal, S., & Bergmann, H.W. (1989). Möglichkeiten der Differenzreflektometrie bei der Entwicklung einer optischen on-line Qualitätskontrolle für die Materialbearbeitung mit dem Excimerlaser. Opto-Elektronik-Magazin, 5(3), 334-343.

MLA:

Schubert, Emil, Stefan Rosiwal, and Hans Wilhelm Bergmann. "Möglichkeiten der Differenzreflektometrie bei der Entwicklung einer optischen on-line Qualitätskontrolle für die Materialbearbeitung mit dem Excimerlaser." Opto-Elektronik-Magazin 5.3 (1989): 334-343.

BibTeX: Download