Gröschl AC, Schaude J, Hausotte T (2019)
Publication Language: German
Publication Type: Journal article, Online publication
Publication year: 2019
Book Volume: 86
Pages Range: 117-121
Journal Issue: S1
In diesem Artikel wird die Messpräzision eines hochfrequent fokusabstandsmodulierten, fasergekoppelten Konfokalsensors unter temperaturstabilen Bedingungen bestimmt. Insbesondere in der Mikro- und Nanomesstechnik verursachen thermische Driften signifikante Messabweichungen. Diese lassen sich bei wiederholten Messungen zwar zu einem großen Teil korrigieren, innerhalb einer Messung ist dies bisher jedoch nicht möglich. Das verwendete Nanokoordinatenmesssystem (NMM-1) wurde daher um eine Temperierhaube erweitert, um thermische Driften zu minimieren. Weiterhin wird die Temperatur mittels kalibrierter Pt100-Temperatursensoren während der Messungen erfasst, um die Korrelation des Messergebnisses und der Temperatur quantitativ zu bestimmen. Inwiefern die Korrektur des Messergebnisses anhand der aufgenommenen Temperatur möglich ist, wird in diesem Artikel evaluiert.
APA:
Gröschl, A.C., Schaude, J., & Hausotte, T. (2019). Evaluation und Korrektur thermischer Driften eines hochfrequent fokusabstandsmodulierten, fasergekoppelten konfokalen Punktsensors. Technisches Messen, 86(S1), 117-121. https://doi.org/10.1515/teme-2019-0060
MLA:
Gröschl, Andreas Christian, Janik Schaude, and Tino Hausotte. "Evaluation und Korrektur thermischer Driften eines hochfrequent fokusabstandsmodulierten, fasergekoppelten konfokalen Punktsensors." Technisches Messen 86.S1 (2019): 117-121.
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