Home Publications Research Grants Inventions & Patents Awards Additional Research Activities Faculties & Institutions Research Areas

Planarisierung miniaturisierter Nb-Schaltungen durch chemisch-mechanisches Polieren(CMP)

Neuhaus M, Götz M, Eßer G, Scherer T, Jutzi W (1998)

---

Publication Type: Conference contribution

Publication year: 1998

Publisher: DPG

Pages Range: 24.47

Conference Proceedings Title: Frühjahrstagung der Deutschen Physikalischen Gesellschaft DPG

Event location: Regensburg

Additional Organisation(s)

How to cite

APA:

Neuhaus, M., Götz, M., Eßer, G., Scherer, T., & Jutzi, W. (1998). Planarisierung miniaturisierter Nb-Schaltungen durch chemisch-mechanisches Polieren(CMP). In Frühjahrstagung der Deutschen Physikalischen Gesellschaft DPG (pp. 24.47). Regensburg: DPG.

MLA:

Neuhaus, M., et al. "Planarisierung miniaturisierter Nb-Schaltungen durch chemisch-mechanisches Polieren(CMP)." Proceedings of the Frühjahrstagung der Deutschen Physikalischen Gesellschaft DPG, Regensburg DPG, 1998. 24.47.

BibTeX: Download