3-D-Fokuslagensteuerung für die Laserstrahlstrukturierung

Eßer G, Urmoneit U, Ziegenhaus M (2000)

Publication Type: Conference contribution

Publication year: 2000

Publisher: Meisenbach Verlag

Pages Range: 197-212

Conference Proceedings Title: Laser in der Elektronikproduktion & Feinwerktechnik - Tagungsband des 3. Erlanger Seminars LEF 2000. Erlangen 8.-9.3.

Event location: Bamberg

Additional Organisation(s)

Institute of Manufacturing Technology (LFT)

Involved external institutions

Bayerisches Laserzentrum gemeinnützige Forschungsgesellschaft mbH (BLZ) DE Germany (DE)

How to cite

APA:

Eßer, G., Urmoneit, U., & Ziegenhaus, M. (2000). 3-D-Fokuslagensteuerung für die Laserstrahlstrukturierung. In Geiger, M.; Otto, A. (Eds.), Laser in der Elektronikproduktion & Feinwerktechnik - Tagungsband des 3. Erlanger Seminars LEF 2000. Erlangen 8.-9.3. (pp. 197-212). Bamberg: Meisenbach Verlag.

MLA:

Eßer, Gerd, U. Urmoneit, and M. Ziegenhaus. "3-D-Fokuslagensteuerung für die Laserstrahlstrukturierung." Proceedings of the Laser in der Elektronikproduktion & Feinwerktechnik - Tagungsband des 3. Erlanger Seminars LEF 2000. Erlangen 8.-9.3., Bamberg Ed. Geiger, M.; Otto, A., Meisenbach Verlag, 2000. 197-212.

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