3-D-Fokuslagensteuerung für die Laserstrahlstrukturierung
Eßer G, Urmoneit U, Ziegenhaus M (2000)
Publication Type: Conference contribution
Publication year: 2000
Publisher: Meisenbach Verlag
Pages Range: 197-212
Conference Proceedings Title: Laser in der Elektronikproduktion & Feinwerktechnik - Tagungsband des 3. Erlanger Seminars LEF 2000. Erlangen 8.-9.3.
Event location: Bamberg
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Germany (DE)How to cite
APA:
Eßer, G., Urmoneit, U., & Ziegenhaus, M. (2000). 3-D-Fokuslagensteuerung für die Laserstrahlstrukturierung. In Geiger, M.; Otto, A. (Eds.), Laser in der Elektronikproduktion & Feinwerktechnik - Tagungsband des 3. Erlanger Seminars LEF 2000. Erlangen 8.-9.3. (pp. 197-212). Bamberg: Meisenbach Verlag.
MLA:
Eßer, Gerd, U. Urmoneit, and M. Ziegenhaus. "3-D-Fokuslagensteuerung für die Laserstrahlstrukturierung." Proceedings of the Laser in der Elektronikproduktion & Feinwerktechnik - Tagungsband des 3. Erlanger Seminars LEF 2000. Erlangen 8.-9.3., Bamberg Ed. Geiger, M.; Otto, A., Meisenbach Verlag, 2000. 197-212.
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