Simulation des Abtrags von Polyimi mit Excimerlasern

Otto A, Kickelhain J (2000)


Publication Type: Conference contribution

Publication year: 2000

Pages Range: 109-123

Authors with CRIS profile

Additional Organisation(s)

How to cite

APA:

Otto, A., & Kickelhain, J. (2000). Simulation des Abtrags von Polyimi mit Excimerlasern. In Proceedings of the LEF 2000 (pp. 109-123).

MLA:

Otto, Andreas, and J. Kickelhain. "Simulation des Abtrags von Polyimi mit Excimerlasern." Proceedings of the LEF 2000 2000. 109-123.

BibTeX: Download