Lasergestützte Mikrofabrikationstechniken

Geiger M, Hennige T (2000)


Publication Type: Journal article

Publication year: 2000

Journal

Pages Range: 99-115

Journal Issue: 1536

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How to cite

APA:

Geiger, M., & Hennige, T. (2000). Lasergestützte Mikrofabrikationstechniken. VDI-Berichte, 1536, 99-115.

MLA:

Geiger, Manfred, and Thomas Hennige. "Lasergestützte Mikrofabrikationstechniken." VDI-Berichte 1536 (2000): 99-115.

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