Mikrobiegen und Präzisionsrichten mit gepulster UV-Laserstrahlung.

Geiger M, Becker W, Vollertsen F (1997)


Publication Type: Journal article

Publication year: 1997

Journal

Book Volume: 4

Pages Range: 67-75

Journal Issue: 29

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APA:

Geiger, M., Becker, W., & Vollertsen, F. (1997). Mikrobiegen und Präzisionsrichten mit gepulster UV-Laserstrahlung. Laser und Optoelektronik, 4(29), 67-75.

MLA:

Geiger, Manfred, Wolfgang Becker, and Frank Vollertsen. "Mikrobiegen und Präzisionsrichten mit gepulster UV-Laserstrahlung." Laser und Optoelektronik 4.29 (1997): 67-75.

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