A flexible method for the preparation of thin film samples for in situ TEM characterization combining shadow-FIB milling and electron beam-assisted etching

Beitrag in einer Fachzeitschrift


Details zur Publikation

Autorinnen und Autoren: Liebig JP, Göken M, Richter G, Mackovic M, Przybilla T, Spiecker E, Pierron ON, Merle B
Zeitschrift: Ultramicroscopy
Verlag: ELSEVIER SCIENCE BV
Jahr der Veröffentlichung: 2016
Band: 171
Seitenbereich: 82-88
ISSN: 0304-3991


Abstract

A new method for the preparation of freestanding thin film samples for mechanical testing in transmission electron microscopes is presented. It is based on a combination of focused ion beam.(FIB) milling and electron-beam-assisted etching with xenon difluoride (XeF2) precursor gas. The use of the FIB allows for the target preparation of microstructural defects and enables well-defined sample geometries which can be easily adapted in order to meet the requirements of various testing setups. In contrast to existing FIB-based preparation approaches, the area of interest is never exposed to ion beam irradiation which preserves a pristine microstructure. The method can be applied to a wide range of thin film material systems compatible with XeF2 etching. Its feasibility is demonstrated for gold and alloyed copper thin films and its practical application is discussed. (C) 2016 Elsevier B.V. All rights reserved.


FAU-Autorinnen und Autoren / FAU-Herausgeberinnen und Herausgeber

Göken, Mathias Prof. Dr.
Lehrstuhl für Werkstoffwissenschaften (Allgemeine Werkstoffeigenschaften)
Liebig, Jan Philipp
Lehrstuhl für Werkstoffwissenschaften (Allgemeine Werkstoffeigenschaften)
Mackovic, Mirza Dr.-Ing.
Lehrstuhl für Werkstoffwissenschaften (Mikro- und Nanostrukturforschung)
Merle, Benoit PD Dr. habil.
Lehrstuhl für Werkstoffwissenschaften (Allgemeine Werkstoffeigenschaften)
Przybilla, Thomas
Lehrstuhl für Werkstoffwissenschaften (Mikro- und Nanostrukturforschung)
Spiecker, Erdmann Prof. Dr.
Lehrstuhl für Werkstoffwissenschaften (Mikro- und Nanostrukturforschung)


Zusätzliche Organisationseinheit(en)
Exzellenz-Cluster Engineering of Advanced Materials
Graduiertenkolleg 1896/2 In situ Mikroskopie mit Elektronen, Röntgenstrahlen und Rastersonden
Interdisziplinäres Zentrum, Center for Nanoanalysis and Electron Microscopy (CENEM)


Einrichtungen weiterer Autorinnen und Autoren

Georgia Institute of Technology
Max Planck Institute for Intelligent Systems (MPI-IS) / Max-Planck-Institut für Intelligente Systeme


Forschungsbereiche

A2 Nanoanalysis and Microscopy
Exzellenz-Cluster Engineering of Advanced Materials


Zitierweisen

APA:
Liebig, J.P., Göken, M., Richter, G., Mackovic, M., Przybilla, T., Spiecker, E.,... Merle, B. (2016). A flexible method for the preparation of thin film samples for in situ TEM characterization combining shadow-FIB milling and electron beam-assisted etching. Ultramicroscopy, 171, 82-88. https://dx.doi.org/10.1016/j.ultramic.2016.09.004

MLA:
Liebig, Jan Philipp, et al. "A flexible method for the preparation of thin film samples for in situ TEM characterization combining shadow-FIB milling and electron beam-assisted etching." Ultramicroscopy 171 (2016): 82-88.

BibTeX: 

Zuletzt aktualisiert 2019-28-05 um 13:37