Synchrotron x-ray microdiffraction study of residual stresses in BaTiO3 films deposited at room temperature by aerosol deposition

Beitrag in einer Fachzeitschrift


Details zur Publikation

Autorinnen und Autoren: Khansur NH, Eckstein U, Rieß K, Martin A, Drnec J, Drnec J, Deisinger U, Webber K
Zeitschrift: Scripta Materialia
Verlag: PERGAMON-ELSEVIER SCIENCE LTD
Jahr der Veröffentlichung: 2018
Band: 157
Seitenbereich: 86-89
ISSN: 1359-6462
Sprache: Englisch


Abstract

The residual stress through the thickness of a BaTiO3 ceramic film deposited on steel substrate at room temperature with aerosol deposition has been analyzed using synchrotron x-ray microdiffraction. A gradient in stress distribution was evident through the film and the maximum biaxial compressive stress of -800 MPa was observed at the film-substrate interface. Heat-treatment was found to relax the internal compressive stress, due to thermal expansion mismatch between the film and substrate. Variation in ferroelectric response was correlated to the change in stress state by thermal treatment. This analysis is crucial for development of micro-and nanoelectronic devices with AD films. (C) 2018 Acta Materialia Inc. Published by Elsevier Ltd. All rights reserved.


FAU-Autorinnen und Autoren / FAU-Herausgeberinnen und Herausgeber

Eckstein, Udo
Lehrstuhl für Werkstoffwissenschaften (Glas und Keramik)
Khansur, Neamul Hayet Dr.
Lehrstuhl für Werkstoffwissenschaften (Glas und Keramik)
Martin, Alexander Dr.
Lehrstuhl für Werkstoffwissenschaften (Glas und Keramik)
Rieß, Kevin
Professur für Werkstoffwissenschaften (Funktionskeramik)
Webber, Kyle Prof.
Professur für Werkstoffwissenschaften (Funktionskeramik)


Einrichtungen weiterer Autorinnen und Autoren

CeramTec GmbH
European Synchrotron Radiation Facility (ESRF)


Zitierweisen

APA:
Khansur, N.H., Eckstein, U., Rieß, K., Martin, A., Drnec, J., Drnec, J.,... Webber, K. (2018). Synchrotron x-ray microdiffraction study of residual stresses in BaTiO3 films deposited at room temperature by aerosol deposition. Scripta Materialia, 157, 86-89. https://dx.doi.org/10.1016/j.scriptamat.2018.07.045

MLA:
Khansur, Neamul Hayet, et al. "Synchrotron x-ray microdiffraction study of residual stresses in BaTiO3 films deposited at room temperature by aerosol deposition." Scripta Materialia 157 (2018): 86-89.

BibTeX: 

Zuletzt aktualisiert 2019-22-01 um 04:08

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