Improvements of a high-speed focus distance modulated fibrecoupled confocal sensor for nanocoordinate measuring systems

Beitrag bei einer Tagung
(Konferenzbeitrag)


Details zur Publikation

Autorinnen und Autoren: Gröschl AC, Köhnen S, Schaude J, Hausotte T
Verlag: VDE Verlag GmbH
Verlagsort: Berlin, Offenbach
Jahr der Veröffentlichung: 2018
Seitenbereich: 98-101
ISBN: ISBN 978-3-8007-4683-5
Sprache: Englisch


Abstract

This article presents improvements of a new robust, precise, high-frequency focal-distance-modulated confocal point sensor for probing in coordinate measuring systems (CMS). While maintaining the known advantages of the confocal measurement principle, the sensor represents an innovative combination of a fibre-coupled confocal illumination and detection with a tuneable, acoustically driven gradient-index fluid lens (TAG lens) for modulation of the focus distance andanovelsignalprocessingutilizingalock-inamplifier. Thenewarrangementisabletoachieveanapproximatelylinear characteristiccurvefortheoptimisedfeedbackcontroloftheCMSinscanningsamplemode. Thisarticleemphasisesthe improvement of the lock-in amplification by using a custom signal processing on the basis of a field programmable gate array (FPGA).


FAU-Autorinnen und Autoren / FAU-Herausgeberinnen und Herausgeber

Gröschl, Andreas Christian
Lehrstuhl für Fertigungsmesstechnik
Hausotte, Tino Prof. Dr.-Ing.
Lehrstuhl für Fertigungsmesstechnik
Köhnen, Stephan
Lehrstuhl für Fertigungsmesstechnik
Schaude, Janik
Lehrstuhl für Fertigungsmesstechnik


Zitierweisen

APA:
Gröschl, A.C., Köhnen, S., Schaude, J., & Hausotte, T. (2018). Improvements of a high-speed focus distance modulated fibrecoupled confocal sensor for nanocoordinate measuring systems. In Proceedings of the SENSOREN UND MESSSYSTEME 19. ITG/GMA-Fachtagung (pp. 98-101). NürnbergConvention Center (NCC Mitte) Messezentrum 90471 Nürnberg, DE: Berlin, Offenbach: VDE Verlag GmbH.

MLA:
Gröschl, Andreas Christian, et al. "Improvements of a high-speed focus distance modulated fibrecoupled confocal sensor for nanocoordinate measuring systems." Proceedings of the SENSOREN UND MESSSYSTEME 19. ITG/GMA-Fachtagung, NürnbergConvention Center (NCC Mitte) Messezentrum 90471 Nürnberg Berlin, Offenbach: VDE Verlag GmbH, 2018. 98-101.

BibTeX: 

Zuletzt aktualisiert 2019-20-05 um 13:11