Einfluss der Beschichtungssequenz auf die Bauteiltemperatur während eines plasmabasierten Kupferbeschichtungsprozesses auf unterschiedlichen Substratmaterialien

Hensel A, Müller M, Franke J (2018)

Publication Type: Conference contribution

Publication year: 2018

Conference Proceedings Title: EBL 2018 : multifunktionale Aufbau- und Verbindungstechnik - Beherrschung der Vielfalt : Vorträge der 9. DVS/GMM-Tagung in Fellbach am 20. und 21. Februar 2018

Event location: Fellbach, Deutschland

Authors with CRIS profile

Alexander Hensel Lehrstuhl für Fertigungsautomatisierung und Produktionssystematik Martin Muckelbauer Lehrstuhl für Fertigungsautomatisierung und Produktionssystematik Jörg Franke Lehrstuhl für Fertigungsautomatisierung und Produktionssystematik

How to cite

APA:

Hensel, A., Müller, M., & Franke, J. (2018). Einfluss der Beschichtungssequenz auf die Bauteiltemperatur während eines plasmabasierten Kupferbeschichtungsprozesses auf unterschiedlichen Substratmaterialien. In EBL 2018 : multifunktionale Aufbau- und Verbindungstechnik - Beherrschung der Vielfalt : Vorträge der 9. DVS/GMM-Tagung in Fellbach am 20. und 21. Februar 2018. Fellbach, Deutschland.

MLA:

Hensel, Alexander, Martin Müller, and Jörg Franke. "Einfluss der Beschichtungssequenz auf die Bauteiltemperatur während eines plasmabasierten Kupferbeschichtungsprozesses auf unterschiedlichen Substratmaterialien." Proceedings of the Elektronische Baugruppen und Leiterplatten EBL 2018, Fellbach, Deutschland 2018.

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