Development of a 3D capable probing system based on electrical near-field interactions for micro- and nano-coordinate metrology

Beitrag bei einer Tagung
(Konferenzbeitrag)


Details zur Publikation

Autorinnen und Autoren: Sun Z, Hausotte T
Jahr der Veröffentlichung: 2016
Seitenbereich: 156-161
ISBN: 978-3-9816876-0-6
Sprache: Englisch


FAU-Autorinnen und Autoren / FAU-Herausgeberinnen und Herausgeber

Hausotte, Tino Prof. Dr.-Ing.
Lehrstuhl für Fertigungsmesstechnik
Sun, Zhongyuan
Lehrstuhl für Fertigungsmesstechnik


Zitierweisen

APA:
Sun, Z., & Hausotte, T. (2016). Development of a 3D capable probing system based on electrical near-field interactions for micro- and nano-coordinate metrology. In Proceedings of the 18. GMA/ITG-Fachtagung Sensoren und Messsysteme 2016 (pp. 156-161). Nürnberg, DE.

MLA:
Sun, Zhongyuan, and Tino Hausotte. "Development of a 3D capable probing system based on electrical near-field interactions for micro- and nano-coordinate metrology." Proceedings of the 18. GMA/ITG-Fachtagung Sensoren und Messsysteme 2016, Nürnberg 2016. 156-161.

BibTeX: 

Zuletzt aktualisiert 2019-31-07 um 17:53