Piezo-Resistive Sensing Active (PRSA) Probes integrated into a Nanomeasuring Machine (NMM-1)

Beitrag bei einer Tagung
(Konferenzbeitrag)


Details zur Publikation

Autorinnen und Autoren: El Melegy A, Weinert B, Hausotte T, El-Wahed Younes MA, Mohammed Ahmed A
Herausgeber: SECTOR
Jahr der Veröffentlichung: 2016
Tagungsband: Proceedings of the NanoMetrology France 2016
Sprache: Englisch


FAU-Autorinnen und Autoren / FAU-Herausgeberinnen und Herausgeber

El Melegy, Ahmed
Lehrstuhl für Fertigungsmesstechnik
Hausotte, Tino Prof. Dr.-Ing.
Lehrstuhl für Fertigungsmesstechnik
Weinert, Benedict
Lehrstuhl für Fertigungsmesstechnik


Zitierweisen

APA:
El Melegy, A., Weinert, B., Hausotte, T., El-Wahed Younes, M.A., & Mohammed Ahmed, A. (2016). Piezo-Resistive Sensing Active (PRSA) Probes integrated into a Nanomeasuring Machine (NMM-1). In SECTOR (Eds.), Proceedings of the NanoMetrology France 2016. Paris, FR.

MLA:
El Melegy, Ahmed, et al. "Piezo-Resistive Sensing Active (PRSA) Probes integrated into a Nanomeasuring Machine (NMM-1)." Proceedings of the NanoMetrology 2016, Paris Ed. SECTOR, 2016.

BibTeX: 

Zuletzt aktualisiert 2018-23-11 um 06:08