Untersuchung von Aufladungseffekten bei der Ionenimplantation

Dirnecker T, Ryssel H (2006)

Publication Type: Authored book

Publication year: 2006

Publisher: Shaker Verlag

Series: Erlanger Berichte Mikroelektronik

City/Town: Aachen

Pages Range: 130

ISBN: 3-8322-5081-6

Authors with CRIS profile

Tobias Dirnecker Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente

How to cite

APA:

Dirnecker, T., & Ryssel, H. (2006). Untersuchung von Aufladungseffekten bei der Ionenimplantation. Aachen: Shaker Verlag.

MLA:

Dirnecker, Tobias, and Heiner Ryssel. Untersuchung von Aufladungseffekten bei der Ionenimplantation. Aachen: Shaker Verlag, 2006.

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