Nanopositionier- und Nanomessmaschine für die Anwendung in der Mikro- und Nanotechnik

Beitrag bei einer Tagung


Details zur Publikation

Autorinnen und Autoren: Manske E, Hausotte T, Jäger G
Verlag: VDI
Verlagsort: Düsseldorf
Jahr der Veröffentlichung: 2011
Tagungsband: VDI-Berichte 2133
Seitenbereich: 3-16
ISBN: 978-3-18-092133-4


FAU-Autorinnen und Autoren / FAU-Herausgeberinnen und Herausgeber

Hausotte, Tino Prof. Dr.-Ing.
Lehrstuhl für Fertigungsmesstechnik


Einrichtungen weiterer Autorinnen und Autoren

Technische Universität Ilmenau


Zitierweisen

APA:
Manske, E., Hausotte, T., & Jäger, G. (2011). Nanopositionier- und Nanomessmaschine für die Anwendung in der Mikro- und Nanotechnik. In VDI-Berichte 2133 (pp. 3-16). Erlangen: Düsseldorf: VDI.

MLA:
Manske, Eberhard, Tino Hausotte, and Gerd Jäger. "Nanopositionier- und Nanomessmaschine für die Anwendung in der Mikro- und Nanotechnik." Proceedings of the 4. Fachtagung "Metrologie in der Mikro- und Nanotechnik 2011", Erlangen Düsseldorf: VDI, 2011. 3-16.

BibTeX: 

Zuletzt aktualisiert 2018-09-08 um 09:53