Nanopositionier- und Nanomessmaschine für die Anwendung in der Mikro- und Nanotechnik
Manske E, Hausotte T, Jäger G (2011)
Publication Type: Conference contribution
Publication year: 2011
Publisher: VDI
City/Town: Düsseldorf
Pages Range: 3-16
Conference Proceedings Title: VDI-Berichte 2133
Event location: Erlangen
ISBN: 978-3-18-092133-4
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Germany (DE)How to cite
APA:
Manske, E., Hausotte, T., & Jäger, G. (2011). Nanopositionier- und Nanomessmaschine für die Anwendung in der Mikro- und Nanotechnik. In VDI-Berichte 2133 (pp. 3-16). Erlangen: Düsseldorf: VDI.
MLA:
Manske, Eberhard, Tino Hausotte, and Gerd Jäger. "Nanopositionier- und Nanomessmaschine für die Anwendung in der Mikro- und Nanotechnik." Proceedings of the 4. Fachtagung "Metrologie in der Mikro- und Nanotechnik 2011", Erlangen Düsseldorf: VDI, 2011. 3-16.
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