Optimization of one-and two dimensional masks in the optical lithography

Farkas R, Kókai G, Erdmann A, Fühner T, Tollkühn B (2003)

Publication Language: English

Publication Type: Conference contribution, Original article

Publication year: 2003

Pages Range: 56-64

Conference Proceedings Title: Treffen der Fachgruppe Maschinelles Lernen, Wissensentdeckung, Data Mining der Gesellschaft für Informatik (FGML 2003)

Event location: Karlsruhe DE

URI: http://www2.informatik.uni-erlangen.de/publication/download/fgml03.ps.gz

Authors with CRIS profile

Tim Fühner Lehrstuhl für Informatik 3 (Rechnerarchitektur)

How to cite

APA:

Farkas, R., Kókai, G., Erdmann, A., Fühner, T., & Tollkühn, B. (2003). Optimization of one-and two dimensional masks in the optical lithography. In Treffen der Fachgruppe Maschinelles Lernen, Wissensentdeckung, Data Mining der Gesellschaft für Informatik (FGML 2003) (pp. 56-64). Karlsruhe, DE.

MLA:

Farkas, Richard, et al. "Optimization of one-and two dimensional masks in the optical lithography." Proceedings of the Treffen der Fachgruppe Maschinelles Lernen, Wissensentdeckung, Data Mining der Gesellschaft für Informatik (FGML 2003), Karlsruhe 2003. 56-64.

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