Kinetics of platinum silicide formation followed in situ by spectroscopic ellipsometry
Beitrag in einer Fachzeitschrift
Details zur Publikation
Autorinnen und Autoren: Hundhausen M, Ley L
Zeitschrift: → Journal of Vacuum Science & Technology A |
Jahr der Veröffentlichung: 1999
Band: 17
Heftnummer: 1
Seitenbereich: 144
ISSN: 0734-2101
FAU-Autorinnen und Autoren / FAU-Herausgeberinnen und Herausgeber
| Hundhausen, Martin apl. Prof. Dr. |
| | Lehrstuhl für Laserphysik |
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| | | Naturwissenschaftliche Fakultät |
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