Kinetics of platinum silicide formation followed in situ by spectroscopic ellipsometry

Beitrag in einer Fachzeitschrift


Details zur Publikation

Autor(en): Hundhausen M, Ley L
Zeitschrift: Journal of Vacuum Science & Technology A
Jahr der Veröffentlichung: 1999
Band: 17
Heftnummer: 1
Seitenbereich: 144
ISSN: 0734-2101


FAU-Autoren / FAU-Herausgeber

Hundhausen, Martin apl. Prof. Dr.
Lehrstuhl für Laserphysik
Ley, Lothar Prof. Dr.
Naturwissenschaftliche Fakultät

Zuletzt aktualisiert 2018-09-08 um 05:38