Kinetics of field induced oxidation of hydrogen terminated Si(111) by means of a scanning force micoscope

Beitrag in einer Fachzeitschrift


Details zur Publikation

Autor(en): Ley L, Hundhausen M
Zeitschrift: Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics Processing and Phenomena
Jahr der Veröffentlichung: 1996
Band: 14
Seitenbereich: 2845
ISSN: 0734-211X


FAU-Autoren / FAU-Herausgeber

Hundhausen, Martin apl. Prof. Dr.
Lehrstuhl für Laserphysik
Ley, Lothar Prof. Dr.
Naturwissenschaftliche Fakultät

Zuletzt aktualisiert 2018-07-08 um 15:08