Integration of CMM software standards for nanopositioning and nanomeasuring machines

Beitrag bei einer Tagung


Details zur Publikation

Autorinnen und Autoren: Sparrer E, Hausotte T, Manske E, Machleidt T, Franke KH
Verlag: International Society for Optical Engineering; 1999
Jahr der Veröffentlichung: 2011
Band: 8031
Tagungsband: SPIE - Micro- and nanotechnology sensors, systems, and applications III
ISSN: 0277-786X


Abstract

The function and architecture of the I++DME command interpreter is discussed and the principle of operation is demonstrated by means of an example controlling a nanopositioning and nanomeasuring machine with Hexagon Metrology's controlling and analyzing software QUINDOS 7 via the I++DME command interpreter server.


FAU-Autorinnen und Autoren / FAU-Herausgeberinnen und Herausgeber

Hausotte, Tino Prof. Dr.-Ing.
Lehrstuhl für Fertigungsmesstechnik


Einrichtungen weiterer Autorinnen und Autoren

Technische Universität Ilmenau


Zitierweisen

APA:
Sparrer, E., Hausotte, T., Manske, E., Machleidt, T., & Franke, K.-H. (2011). Integration of CMM software standards for nanopositioning and nanomeasuring machines. In SPIE - Micro- and nanotechnology sensors, systems, and applications III. Orlando: International Society for Optical Engineering; 1999.

MLA:
Sparrer, Erik, et al. "Integration of CMM software standards for nanopositioning and nanomeasuring machines." Proceedings of the Micro- and Nanotechnology Sensors, Systems, and Applications Conference, Orlando International Society for Optical Engineering; 1999, 2011.

BibTeX: 

Zuletzt aktualisiert 2019-17-01 um 16:35