Simulation of Trench Homogeneity in Plasma Immersion IonImplantation

Beitrag in einer Fachzeitschrift


Details zur Publikation

Autor(en): Keller G, Stals L, Mändl S, Rauschenbach B, Rüde U
Zeitschrift: Journal of Applied Physics
Verlag: American Institute of Physics (AIP)
Jahr der Veröffentlichung: 2001
Band: 88
Seitenbereich: 1111-1117
ISSN: 0021-8979


FAU-Autoren / FAU-Herausgeber

Rüde, Ulrich Prof. Dr.
Lehrstuhl für Informatik 10 (Systemsimulation)


Zitierweisen

APA:
Keller, G., Stals, L., Mändl, S., Rauschenbach, B., & Rüde, U. (2001). Simulation of Trench Homogeneity in Plasma Immersion IonImplantation. Journal of Applied Physics, 88, 1111-1117.

MLA:
Keller, G., et al. "Simulation of Trench Homogeneity in Plasma Immersion IonImplantation." Journal of Applied Physics 88 (2001): 1111-1117.

BibTeX: 

Zuletzt aktualisiert 2018-25-09 um 15:38