Update on a 3D probing system based on electrical near-field interaction for micro- and nano-coordinate metrology

Beitrag bei einer Tagung
(Abstract zum Vortrag)


Details zur Publikation

Autorinnen und Autoren: Sun Z, Schuler A, Hausotte T
Jahr der Veröffentlichung: 2015
Sprache: Englisch


FAU-Autorinnen und Autoren / FAU-Herausgeberinnen und Herausgeber

Hausotte, Tino Prof. Dr.-Ing.
Lehrstuhl für Fertigungsmesstechnik
Schuler, Alexander Dr.-Ing.
Technische Fakultät
Sun, Zhongyuan
Lehrstuhl für Fertigungsmesstechnik


Zitierweisen

APA:
Sun, Z., Schuler, A., & Hausotte, T. (2015). Update on a 3D probing system based on electrical near-field interaction for micro- and nano-coordinate metrology. Paper presentation at Micro/Nano Manufacturing Workshop, Teddington, GB.

MLA:
Sun, Zhongyuan, Alexander Schuler, and Tino Hausotte. "Update on a 3D probing system based on electrical near-field interaction for micro- and nano-coordinate metrology." Presented at Micro/Nano Manufacturing Workshop, Teddington 2015.

BibTeX: 

Zuletzt aktualisiert 2018-07-08 um 05:08