Nanometer-scale modification of the tribological properties of Si(111):H surfaces performed and investigated by a conducting-probe scanning force microscope

Beitrag in einer Fachzeitschrift


Details zur Publikation

Autor(en): Hundhausen M, Ley L
Zeitschrift: Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics Processing and Phenomena
Jahr der Veröffentlichung: 1996
Band: 14
Seitenbereich: 1268
ISSN: 0734-211X


FAU-Autoren / FAU-Herausgeber

Hundhausen, Martin apl. Prof. Dr.
Lehrstuhl für Laserphysik
Ley, Lothar Prof. Dr.
Naturwissenschaftliche Fakultät

Zuletzt aktualisiert 2018-09-08 um 05:08