Cross-Sectional Scanning Tunneling and Scanning Force Microscopy of Amorphous Hydrogenated Silicon pn-Doping-Superlattices in Nitrogen and Air

Beitrag in einer Fachzeitschrift


Details zur Publikation

Autor(en): Hundhausen M, Ley L
Zeitschrift: Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics Processing and Phenomena
Jahr der Veröffentlichung: 1994
Band: 12
Seitenbereich: 2440
ISSN: 0734-211X


FAU-Autoren / FAU-Herausgeber

Hundhausen, Martin apl. Prof. Dr.
Lehrstuhl für Laserphysik
Ley, Lothar Prof. Dr.
Naturwissenschaftliche Fakultät

Zuletzt aktualisiert 2018-09-08 um 04:53