Fully Patterned Low-Voltage Transparent Metal Oxide Transistors Deposited Solely by Chemical Spray Pyrolysis

Beitrag in einer Fachzeitschrift
(Report)


Details zur Publikation

Autorinnen und Autoren: Faber H, Butz B, Dieker C, Spiecker E, Halik M
Zeitschrift: Advanced Functional Materials
Jahr der Veröffentlichung: 2013
Band: 23
Heftnummer: 22
Seitenbereich: 2828--2834
ISSN: 1616-301X
eISSN: 1616-3018
Sprache: Englisch


Abstract


All-inorganic transparent thin-film transistors deposited solely by the solution processing method of spray pyrolysis are reported. Different precursor materials are employed to create conducting and semiconducting species of ZnO acting as electrodes and active channel material, respectively, as well as zirconium oxide as gate dielectric layer. Additionally, a simple stencil mask system provides sufficient resolution to realize the necessary geometric patterns. As a result, fully functional low-voltage n-type transistors with a mobility of 0.18 cm2 V−1 s−1 can be demonstrated via a technique that bears the potential for upscaling. A detailed microscopic evaluation of the channel region by electron diffraction, high-resolution and analytical TEM confirms the layer stacking and provides detailed information on the chemical composition and nanocrystalline nature of the individual layers.



FAU-Autorinnen und Autoren / FAU-Herausgeberinnen und Herausgeber

Butz, Benjamin Dr.
Lehrstuhl für Werkstoffwissenschaften (Mikro- und Nanostrukturforschung)
Dieker, Christel
Lehrstuhl für Werkstoffwissenschaften (Mikro- und Nanostrukturforschung)
Faber, Hendrik
Professur für Werkstoffwissenschaften (Polymerwerkstoffe)
Halik, Marcus Prof. Dr.
Professur für Werkstoffwissenschaften (Polymerwerkstoffe)
Spiecker, Erdmann Prof. Dr.
Lehrstuhl für Werkstoffwissenschaften (Mikro- und Nanostrukturforschung)


Zusätzliche Organisationseinheit(en)
Interdisziplinäres Zentrum, Center for Nanoanalysis and Electron Microscopy (CENEM)
Exzellenz-Cluster Engineering of Advanced Materials


Forschungsbereiche

B Nanoelectronic Materials
Exzellenz-Cluster Engineering of Advanced Materials
A2 Nanoanalysis and Microscopy
Exzellenz-Cluster Engineering of Advanced Materials


Zitierweisen

APA:
Faber, H., Butz, B., Dieker, C., Spiecker, E., & Halik, M. (2013). Fully Patterned Low-Voltage Transparent Metal Oxide Transistors Deposited Solely by Chemical Spray Pyrolysis. Advanced Functional Materials, 23(22), 2828--2834. https://dx.doi.org/10.1002/adfm.201202334

MLA:
Faber, Hendrik, et al. "Fully Patterned Low-Voltage Transparent Metal Oxide Transistors Deposited Solely by Chemical Spray Pyrolysis." Advanced Functional Materials 23.22 (2013): 2828--2834.

BibTeX: 

Zuletzt aktualisiert 2019-18-09 um 12:32