Konfokale Bestimmung der Fokuslage und Kalibriermethodiken entsprechender Systeme

Beitrag bei einer Tagung
(Originalarbeit)


Details zur Publikation

Autorinnen und Autoren: Strauß J, Alexeev I, Cvecek K, Schmidt M
Herausgeber: Michael Schmidt, Stephan Roth
Verlag: Meisenbach GmbH
Verlagsort: Bamberg
Jahr der Veröffentlichung: 2014
Tagungsband: Laser in der Elektronikproduktion & Feinwerktechnik
Seitenbereich: 223-230
ISBN: 978-3-87525-359-7
Sprache: Deutsch


Abstract


Bei der Mikromaterialbearbeitung mit Ultrakurzpulslasern hat die absolute Bestimmung der Fokuslage zu der Werkstückoberfläche einen großen Einfluss auf das Bearbeitungsergebnis. In dieser Veröffentlichung wird demonstriert wie die von der Werkstückoberfläche reflektierte Laserstrahlung des Bearbeitungslasers mit einem konfokalem Messsystem ausgewertet wird, um so eine relative Positionsbestimmung mit 1/10 der Rayleighlänge durchzuführen. Des Weiteren wird gezeigt wie dieses Messsystem durch die höhere Harmonische, welche an der Oberfläche von Werkstoffen wie Glas erzeugt wird, kalibriert wird und somit eine absolute Positionsbestimmung des Bearbeitungsfokus zur Werkstückoberfläche erreicht wird.



FAU-Autorinnen und Autoren / FAU-Herausgeberinnen und Herausgeber

Alexeev, Ilya
Lehrstuhl für Photonische Technologien
Cvecek, Kristian Dr.
Lehrstuhl für Photonische Technologien
Schmidt, Michael Prof. Dr.-Ing.
Lehrstuhl für Photonische Technologien
Strauß, Johannes
Lehrstuhl für Photonische Technologien


Zusätzliche Organisationseinheit(en)
Erlangen Graduate School in Advanced Optical Technologies


Zitierweisen

APA:
Strauß, J., Alexeev, I., Cvecek, K., & Schmidt, M. (2014). Konfokale Bestimmung der Fokuslage und Kalibriermethodiken entsprechender Systeme. In Michael Schmidt, Stephan Roth (Hrg.), Laser in der Elektronikproduktion & Feinwerktechnik (pp. 223-230). Fürth, DE: Bamberg: Meisenbach GmbH.

MLA:
Strauß, Johannes, et al. "Konfokale Bestimmung der Fokuslage und Kalibriermethodiken entsprechender Systeme." Tagungsband Laser in der Elektronikproduktion & Feinwerktechnik, Fürth Hrg. Michael Schmidt, Stephan Roth, Bamberg: Meisenbach GmbH, 2014. 223-230.

BibTeX: 

Zuletzt aktualisiert 2019-20-07 um 07:14