Nanopositioning and nanomeasuring machine NPMM-200 - a new powerful tool for large-range micro- and nanotechnology

Beitrag in einer Fachzeitschrift
(Review-Artikel)


Details zur Publikation

Autorinnen und Autoren: Jäger G, Manske E, Hausotte T, Müller A, Balzer F
Zeitschrift: Surface Topography: Metrology and Properties
Verlag: IOP Publishing
Jahr der Veröffentlichung: 2016
Heftnummer: 4
ISSN: 2051-672X
Sprache: Englisch


FAU-Autorinnen und Autoren / FAU-Herausgeberinnen und Herausgeber

Hausotte, Tino Prof. Dr.-Ing.
Lehrstuhl für Fertigungsmesstechnik


Einrichtungen weiterer Autorinnen und Autoren

Technische Universität Ilmenau


Zitierweisen

APA:
Jäger, G., Manske, E., Hausotte, T., Müller, A., & Balzer, F. (2016). Nanopositioning and nanomeasuring machine NPMM-200 - a new powerful tool for large-range micro- and nanotechnology. Surface Topography: Metrology and Properties, 4. https://dx.doi.org/10.1088/2051-672X/4/3/034004

MLA:
Jäger, Gerd, et al. "Nanopositioning and nanomeasuring machine NPMM-200 - a new powerful tool for large-range micro- and nanotechnology." Surface Topography: Metrology and Properties 4 (2016).

BibTeX: 

Zuletzt aktualisiert 2018-11-08 um 02:42