Highly resolved analysis of the chemistry and mechanical properties of an a-C:H coating system by nanoindentation and auger electron spectroscopy

Beitrag in einer Fachzeitschrift


Details zur Publikation

Autorinnen und Autoren: Schmid C, Maier V, Schaufler J, Butz B, Spiecker E, Meier S, Göken M, Durst K
Zeitschrift: Thin Solid Films
Verlag: Elsevier
Jahr der Veröffentlichung: 2013
Band: 528
Seitenbereich: 263-268
ISSN: 0040-6090


Abstract


The small-angle cross-section method was applied to a multi-layered hydrogenated amorphous carbon coating (a-C:H) system deposited by plasma enhanced chemical vapour deposition. The investigated system consists of a silicon rich adhesion layer and an adjacent ramp layer with a graded chemical composition to the a-C:H coating. The mechanical properties and the corresponding chemical gradients of the coating system were analysed by a combination of the small-angle cross-section method together with auger electron spectroscopy and nanoindentation. Furthermore, energy filtered transmission electron microscopy on a thin lamella was used to check the reliability of the auger electron spectroscopy results. It was found that local gradients in the chemical composition within the coating relate well to gradients observed in the local mechanical properties. The used combination of the different methods enables to resolve the correlation between the microstructure, chemical composition and mechanical properties of thin film systems with high spatial resolution. (c) 2012 Elsevier B.V. All rights reserved.



FAU-Autorinnen und Autoren / FAU-Herausgeberinnen und Herausgeber

Butz, Benjamin Dr.
Lehrstuhl für Werkstoffwissenschaften (Mikro- und Nanostrukturforschung)
Durst, Karsten PD Dr.
Lehrstuhl für Werkstoffwissenschaften (Allgemeine Werkstoffeigenschaften)
Göken, Mathias Prof. Dr.
Lehrstuhl für Werkstoffwissenschaften (Allgemeine Werkstoffeigenschaften)
Maier, Verena
Lehrstuhl für Werkstoffwissenschaften (Allgemeine Werkstoffeigenschaften)
Schaufler, Jens
Lehrstuhl für Werkstoffwissenschaften (Allgemeine Werkstoffeigenschaften)
Schmid, Christoph
Lehrstuhl für Werkstoffwissenschaften (Allgemeine Werkstoffeigenschaften)
Spiecker, Erdmann Prof. Dr.
Lehrstuhl für Werkstoffwissenschaften (Mikro- und Nanostrukturforschung)


Zusätzliche Organisationseinheit(en)
Exzellenz-Cluster Engineering of Advanced Materials
Interdisziplinäres Zentrum, Center for Nanoanalysis and Electron Microscopy (CENEM)


Einrichtungen weiterer Autorinnen und Autoren

Fraunhofer-Institut für Werkstoffmechanik (IWM) / Fraunhofer Institute for Mechanics of Materials


Forschungsbereiche

E Lightweight Materials
Exzellenz-Cluster Engineering of Advanced Materials
A2 Nanoanalysis and Microscopy
Exzellenz-Cluster Engineering of Advanced Materials


Zitierweisen

APA:
Schmid, C., Maier, V., Schaufler, J., Butz, B., Spiecker, E., Meier, S.,... Durst, K. (2013). Highly resolved analysis of the chemistry and mechanical properties of an a-C:H coating system by nanoindentation and auger electron spectroscopy. Thin Solid Films, 528, 263-268. https://dx.doi.org/10.1016/j.tsf.2012.05.092

MLA:
Schmid, Christoph, et al. "Highly resolved analysis of the chemistry and mechanical properties of an a-C:H coating system by nanoindentation and auger electron spectroscopy." Thin Solid Films 528 (2013): 263-268.

BibTeX: 

Zuletzt aktualisiert 2019-29-05 um 16:04