Activity Alloying of metals and metal compounds in diamond CVD facilities
Internally funded project
Start date : 01.01.2000
Project details
Short description
The addition of Titanium or Vanadium during the CVD diamond coating process is expected to enable new electrical states in diamond crystal structures. The effect of alloying on the mechanical properties is also being investigated.
Current research topics:
- Evaporators for organometallic compounds with Titanium or Vanadium.
- Combination of sputtering processes with hot-filament diamond CVD.
Scientific Abstract
Die Zugabe von Titan oder Vanadin in den CVD-Diamantbeschichtungsprozess soll neue elektrische Zustände im Diamantgitter ermöglichen. Auch der Einfluss der Metallzugabe auf die mechanischen Diamanteigenschaften wird untersucht.
Arbeitsschwerpunkte:
- Verdampfersysteme für metallorganische Verbindungen mit Titan bzw. Vanadin.
- Kombination von Sputterverfahren mit Hot-Filament Diamant-CVD.
