Aufbau und Eigenschaften von Oberflächenfilmen nach einer Excimerlaserbelichtung und deren Bedeutung für das Prozessverhalten

Emmel A (1993)


Publication Language: German

Publication Type: Thesis

Publication year: 1993

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APA:

Emmel, A. (1993). Aufbau und Eigenschaften von Oberflächenfilmen nach einer Excimerlaserbelichtung und deren Bedeutung für das Prozessverhalten (Dissertation).

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Emmel, Andreas. Aufbau und Eigenschaften von Oberflächenfilmen nach einer Excimerlaserbelichtung und deren Bedeutung für das Prozessverhalten. Dissertation, 1993.

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