Interferometrischer 3D-Sensor zur berührungslosen Vermessung technischer Oberflächen

Leuchs G (2000)

Publication Type: Journal article

Publication year: 2000

Journal

VDI-Berichte Deutscher Ingenieur-Verlag

Publisher: Deutscher Ingenieur-Verlag

Book Volume: 1572

Pages Range: 159-164

Abstract

We demonstrate interferometric 3D-measurements of technical objects with rough surfaces. Objects with heights of a few millimetres up to several centimetres are measured from a distance of about one meter. With an integration time of 60ms a distance resolution of a few 10μm is achieved.

Authors with CRIS profile

Gerhard Leuchs Lehrstuhl für Experimentalphysik (Optik)

How to cite

APA:

Leuchs, G. (2000). Interferometrischer 3D-Sensor zur berührungslosen Vermessung technischer Oberflächen. VDI-Berichte, 1572, 159-164.

MLA:

Leuchs, Gerd. "Interferometrischer 3D-Sensor zur berührungslosen Vermessung technischer Oberflächen." VDI-Berichte 1572 (2000): 159-164.

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