Characterization of microlenses using a phase-shifting shearing interferometer

Beitrag in einer Fachzeitschrift

Details zur Publikation

Autorinnen und Autoren: Lindlein N
Zeitschrift: Optical Engineering
Verlag: Society of Photo-optical Instrumentation Engineers (SPIE)
Jahr der Veröffentlichung: 1994
Band: 33
Seitenbereich: 2680-2686
ISSN: 0091-3286


A shearing interferometer is proposed for the characterization of microlenses. The optical configuration of the test system enables the measurement of the wave aberrations, the focal length, and the deviations of the lens surface from an ideal sphere. In addition, a quantitative evaluation method is given that enables the calculation of the wave aberrations (e.g., the phase function) from the shearing interferometer data.

FAU-Autorinnen und Autoren / FAU-Herausgeberinnen und Herausgeber

Lindlein, Norbert Prof. Dr.
Lehrstuhl für Experimentalphysik (Optik)

Zuletzt aktualisiert 2018-09-08 um 04:54