Technisch-wirtschaftlicher Review der Herstellung tetraedrisch-amorpher Kohlenstoffschichten durch Lichtbogenverdampfen

Journal article
(Review article)


Publication Details

Author(s): Hetzner H, Tremmel S, Meerkamm H
Journal: Vakuum in Forschung und Praxis
Publisher: John Wiley & Sons Ltd.
Publication year: 2009
Volume: 21
Journal issue: 4
Pages range: 31–37
ISSN: 0947-076X
eISSN: 1522-2454
Language: German


Abstract


Wegen der hohen Energie der schichtbildenden Teilchen eignet sich Vakuumlichtbogenverdampfen zur Erzeugung tetraedrisch-amorpher Kohlenstoffschichten (ta-C). Da das Verfahren zudem hohe Abscheideraten erlaubt, erscheint es zunächst ideal, um ta-C auch in der industriellen Großserie herzustellen. Jedoch entstehen beim Verdampfungsprozess unweigerlich sog. Makropartikel, die auf den zu beschichtenden Bauteilen ebenfalls abgeschieden werden und die Schichteigenschaften erheblich verschlechtern. Es sind daher Maßnahmen erforderlich, die der Entstehung und/oder Abscheidung der Partikel entgegenwirken. Der folgende Artikel soll einen Überblick über mögliche Maßnahmen geben und diese mit Blick auf den Einsatz in der industriellen Großserienfertigung einer technisch-wirtschaftlichen Bewertung unterziehen.



Due to the high energy of the depositing species, vacuum arc evaporation is suited for the production of tetrahedral-amorphous carbon coatings (ta-C). As besides, the process allows for high deposition rates, it seems to be ideal for the deposition of ta-C in industrial mass production. However, during the evaporation process inevitably macroparticles are formed, which also deposit on the parts to be coated, degrading the coating properties considerably. Therefore, measures are necessary in order to counter the formation and/or deposition of these particles. The following article intents to give an overview of possible measures and to subject them to a technical and economical evaluation in regard to their application in industrial mass production.



FAU Authors / FAU Editors

Hetzner, Harald
Lehrstuhl für Konstruktionstechnik
Meerkamm, Harald Prof. Dr.
Technische Fakultät
Tremmel, Stephan Dr.-Ing.
Lehrstuhl für Konstruktionstechnik


How to cite

APA:
Hetzner, H., Tremmel, S., & Meerkamm, H. (2009). Technisch-wirtschaftlicher Review der Herstellung tetraedrisch-amorpher Kohlenstoffschichten durch Lichtbogenverdampfen. Vakuum in Forschung und Praxis, 21(4), 31–37. https://dx.doi.org/10.1002/vipr.200900389

MLA:
Hetzner, Harald, Stephan Tremmel, and Harald Meerkamm. "Technisch-wirtschaftlicher Review der Herstellung tetraedrisch-amorpher Kohlenstoffschichten durch Lichtbogenverdampfen." Vakuum in Forschung und Praxis 21.4 (2009): 31–37.

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