Konfokale Bestimmung der Fokuslage und Kalibriermethodiken entsprechender Systeme

Conference contribution
(Original article)


Publication Details

Author(s): Strauß J, Alexeev I, Cvecek K, Schmidt M
Editor(s): Michael Schmidt, Stephan Roth
Publisher: Meisenbach GmbH
Publishing place: Bamberg
Publication year: 2014
Conference Proceedings Title: Laser in der Elektronikproduktion & Feinwerktechnik
Pages range: 223-230
ISBN: 978-3-87525-359-7
Language: German


Abstract


Bei der Mikromaterialbearbeitung mit Ultrakurzpulslasern hat die absolute Bestimmung der Fokuslage zu der Werkstückoberfläche einen großen Einfluss auf das Bearbeitungsergebnis. In dieser Veröffentlichung wird demonstriert wie die von der Werkstückoberfläche reflektierte Laserstrahlung des Bearbeitungslasers mit einem konfokalem Messsystem ausgewertet wird, um so eine relative Positionsbestimmung mit 1/10 der Rayleighlänge durchzuführen. Des Weiteren wird gezeigt wie dieses Messsystem durch die höhere Harmonische, welche an der Oberfläche von Werkstoffen wie Glas erzeugt wird, kalibriert wird und somit eine absolute Positionsbestimmung des Bearbeitungsfokus zur Werkstückoberfläche erreicht wird.



FAU Authors / FAU Editors

Alexeev, Ilya
Lehrstuhl für Photonische Technologien
Schmidt, Michael Prof. Dr.-Ing.
Lehrstuhl für Photonische Technologien
Strauß, Johannes
Lehrstuhl für Photonische Technologien


Additional Organisation
Erlangen Graduate School in Advanced Optical Technologies


How to cite

APA:
Strauß, J., Alexeev, I., Cvecek, K., & Schmidt, M. (2014). Konfokale Bestimmung der Fokuslage und Kalibriermethodiken entsprechender Systeme. In Michael Schmidt, Stephan Roth (Eds.), Laser in der Elektronikproduktion & Feinwerktechnik (pp. 223-230). Fürth, DE: Bamberg: Meisenbach GmbH.

MLA:
Strauß, Johannes, et al. "Konfokale Bestimmung der Fokuslage und Kalibriermethodiken entsprechender Systeme." Proceedings of the Laser in der Elektronikproduktion & Feinwerktechnik, Fürth Ed. Michael Schmidt, Stephan Roth, Bamberg: Meisenbach GmbH, 2014. 223-230.

BibTeX: 

Last updated on 2018-19-04 at 03:06