Konfokale Bestimmung der Fokuslage und Kalibriermethodiken entsprechender Systeme

Strauß J, Alexeev I, Cvecek K, Schmidt M (2014)


Publication Language: German

Publication Type: Conference contribution, Original article

Publication year: 2014

Publisher: Meisenbach GmbH

City/Town: Bamberg

Pages Range: 223-230

Conference Proceedings Title: Laser in der Elektronikproduktion & Feinwerktechnik

Event location: Fürth DE

ISBN: 978-3-87525-359-7

Abstract

Bei der Mikromaterialbearbeitung mit Ultrakurzpulslasern hat die absolute Bestimmung der Fokuslage zu der Werkstückoberfläche einen großen Einfluss auf das Bearbeitungsergebnis. In dieser Veröffentlichung wird demonstriert wie die von der Werkstückoberfläche reflektierte Laserstrahlung des Bearbeitungslasers mit einem konfokalem Messsystem ausgewertet wird, um so eine relative Positionsbestimmung mit 1/10 der Rayleighlänge durchzuführen. Des Weiteren wird gezeigt wie dieses Messsystem durch die höhere Harmonische, welche an der Oberfläche von Werkstoffen wie Glas erzeugt wird, kalibriert wird und somit eine absolute Positionsbestimmung des Bearbeitungsfokus zur Werkstückoberfläche erreicht wird.

Authors with CRIS profile

Additional Organisation(s)

How to cite

APA:

Strauß, J., Alexeev, I., Cvecek, K., & Schmidt, M. (2014). Konfokale Bestimmung der Fokuslage und Kalibriermethodiken entsprechender Systeme. In Michael Schmidt, Stephan Roth (Hrg.), Laser in der Elektronikproduktion & Feinwerktechnik (S. 223-230). Fürth, DE: Bamberg: Meisenbach GmbH.

MLA:

Strauß, Johannes, et al. "Konfokale Bestimmung der Fokuslage und Kalibriermethodiken entsprechender Systeme." Tagungsband Laser in der Elektronikproduktion & Feinwerktechnik, Fürth Hrg. Michael Schmidt, Stephan Roth, Bamberg: Meisenbach GmbH, 2014. 223-230.

BibTeX: Download