Integration of an atomic force microscope in a nanopositioning and nanomeasuring machine

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Details zur Publikation

Autorinnen und Autoren: Hofmann N, Hausotte T, Jäger G, Manske E
Verlag: Deutscher Ingenieur-Verlag
Jahr der Veröffentlichung: 2004
Band: 1860
Seitenbereich: 547-553
ISSN: 0083-5560


Abstract

A commercial atomic force microscope (AFM) was integrated into a nanomeasuring and nanopositioning machine (NPM machine) in order to create, a system to measure surface structures with a high resolution over a large area. Different measurement modes were tested and the precision with calibrated standards evaluated. Additional measurements were done with an experimental AFM head consisting of a focus sensor and a cantilever mount.


FAU-Autorinnen und Autoren / FAU-Herausgeberinnen und Herausgeber

Hausotte, Tino Prof. Dr.-Ing.
Lehrstuhl für Fertigungsmesstechnik


Einrichtungen weiterer Autorinnen und Autoren

Technische Universität Ilmenau


Zitierweisen

APA:
Hofmann, N., Hausotte, T., Jäger, G., & Manske, E. (2004). Integration of an atomic force microscope in a nanopositioning and nanomeasuring machine. (pp. 547-553). Deutscher Ingenieur-Verlag.

MLA:
Hofmann, Norbert, et al. "Integration of an atomic force microscope in a nanopositioning and nanomeasuring machine." Deutscher Ingenieur-Verlag, 2004. 547-553.

BibTeX: 

Zuletzt aktualisiert 2018-13-08 um 10:08

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