KMU-innovativ - Verbundprojekt: Industrielle fokusabstandsmodulierte, konfokale Abstandssensoren (InMoKoSens) - Teilvorhaben: Konzeptionelle Entwicklung und Evaluation eines temperaturkorrigierten fokusabstandsmodulierten Konfokalsensors (InMoKoSens)
Third Party Funds Group - Sub project
Acronym:
InMoKoSens
Start date :
01.07.2022
End date :
30.06.2025
Overall project details
Overall project
Industrielle fokusabstandsmodulierte, konfokale Abstandssensoren (InMoKoSens)
Project details
Short description
Scientific Abstract
Die dimensionelle Messung und Prüfung der Formabweichungen, der Rauheit oder von Schichtdicken hochpräziser und ggf. miniaturisierter und mikrostrukturierter Bauteile stellt die Messtechnik vor gänzlich neue Herausforderungen. Beispiele für solche Bauteile sind etwa bei optischen Komponenten zu finden, wie z. B. Freiformoptiken, Mikrolinsenarrays, adaptive Optiken, sowie mikro-elektro-mechanische Systeme. Hierzu werden insbesondere immer schnellere und hochpräzisere optische (also berührungslose) Antastsensoren benötigt, die in Oberflächen- und Koordinatenmessgeräte integriert werden.
Die Konfokalmikroskopie, bei welcher das Messobjekt punktweise abgetastet wird, zeichnet sich durch ihre hervorragende Strukturauflösung im Vergleich zu anderen optischen Sensoren aus. Auf der anderen Seite bedingt das Messverfahren aufgrund der punktweisen Abtastung auf vielen axialen Höhen eine relativ geringe Messgeschwindigkeit. Um diese Geschwindigkeit zu erhöhen, soll im Rahmen des Verbundprojekts „Industrielle fokusabstandsmodulierte, konfokale Abstandssensoren (In‑MoKoSens)“ industrietauglicher hochfrequent fokusabstandsmodulierter Konfokalsensor und eine speziell angepasste Signalauswertung entwickelt werden, welche in Kombination mit einem neuartigen Ansatz zur Kompensation von temperaturbedingten Messabweichungen eine nachgeführte Messung mit einem lateralen Scan und einer Präzision im einstelligen Nanometerbereich ermöglicht. Das Sensorprinzip, mit dem in Voruntersuchungen bereits sehr gute messtechnische Eigenschaften nachgewiesen wurden, soll durch entsprechende Anpassung der Optik, der Mechanik, sowie des Soft- und Hardwaredesigns in einen robusten industrietauglichen Demonstrator überführt werden.
Involved:
Contributing FAU Organisations:
Funding Source
